该设备可与所有外置波宾电子束发生器组合工作并且可选配旋转/摆动/提升装置，确保精确地接收工件(<30 µm)。选配过闸穿梭搬运系统能够在加工过程中实现抽真空以及装载和卸载，从而提高生产率和可用性。